• 简体中文
  • English
  • 苏州银河集团GALAXY微电子设备有限公司

    企业介绍

    苏州银河集团GALAXY微电子设备有限公司成立于2017年,是一家集研发,生产,销售为一体的湿法制程设备制造商。秉承“以人为本、精益求精、品质卓越、合作共赢”的经营理念,以优质的生产工艺、超高的品质控制、精细的设备管理,服务于晶圆衬底材料,化合物半导体、SAW、IGBT、MEMS、先进封装等多个领域。

    联系方式

    单片式湿法蚀刻设备

    项目数据
    适用圆晶尺寸汥見锊腐咯僦菁牮展拭Ұ朩师8”晶圆 
    腔体数量

    2EA,4EA,8EA可选

    片盒2EA,4EA Open Cassette或 (or) Load Port
    ROBOT双手臂传送,防止交叉污染
    Chuck机械夹持式/真空吸附式
    蚀刻硅、氧化硅、铜、钛、等金属刻蚀
    干燥方式Spin dry;N2 spin dry
    颗粒<10ea @0.3μm
    金属离子All Metal<2.5E10 atoms/cm2
    蚀刻均匀性<5%
    设备稼动率>98%
    设备外观9002白色(White)PVC
    设备尺寸2100mm(L)*2100mm(W)*2300mm(H)
    通讯协议

    支持(Support) SECS/GEM&MES

    其他产品

    银河集团GALAXY
    网站地图